潮州真空管式炉

管式炉是一种实验室设备,适用于金属，纳米，单晶硅,多晶硅,电池等的扩散焊接以及真空下的气体保护下，在真空或气氛状态下烧结各种新材料样品。采用先进技术，开发研制的节能环保电炉，管式炉有单管、双管、卧式、可开启式管式实验电炉。如要通各种气体也可以也可配备气体控制柜。
管式炉适用于工矿企业、大专院校，科研院所及实验室作真空或气氛状态下烧结各种新材料样品用。
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体，真空系统，质子流量供气系统，射频等离子源，石英反应腔室等部件组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

控温仪表 厦门宇电 AI系列仪表，模糊PID控制和自整定调节功能
30段可编程控制，控温精度±1℃
真空系统 限真空度 若选配我司高真空系统，可达1.33*10-4Pa（空炉冷态）
炉管及尺寸 石英管，200*1000mm 石英管，200*1200mm 石英管，200*1500mm
高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数小，能承受骤冷骤热
隔热管堵 2只，氧化铝材质
真空法兰 Φ200，一套；硅胶密封圈，内径180*5.7mm，四只
真空压力表 -0.1至0.15MPa
安 全防护 温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护
当需要开启炉体观察物料或加速降温时，为保证使用人员的安 全，会自动切断电源
升级服务 控温仪表升级为欧陆仪表，控温精度可提升至±0.1℃
随机资料 使用说明书1份、保修证书1份
免费服务 免费送货(不含卸货)；免费终身技术支持
质 保 期 12个月，易损件除外（如炉管、密封圈等）

管式炉特点：
1、可选择配置不锈钢钢、石英玻璃、刚玉管等材料
2、管式电炉的编程曲线是可编程3组，每组可30段编程。
3、管式炉的密封性好，可靠，处于国内水平
4、管式电炉是节能型采用的耐火材料是高纯氧化铝纤维材料，炉壳采用双层炉壳，可将外表温度降到常温，均温区长，操作简便。
管式炉安全：
电气部分采用与炉体一体化结构，整个电气元件安装在炉体底部的一侧，结构紧凑、占用空间小。温控安装在炉体侧面板上，观察直观，调节方便，温控仪具有*PID调节功能，管式炉可自动设置PID值，电脑记录，同时具备补偿功能，可使炉膛温度与显示值一致。
管式炉在关键部位安装有声、光警报装置和安全联锁保护装置，确保安全，其设备安全设施达到国家规定的安全标准，温断偶报警及保护;充气异常;接地保护;短路保护等。炉盖关紧、真空度满足要求，方可启动加热。
如果热电偶断裂或炉内温度温，则炉子自动停止加热。设备断水时，管式炉炉子自动停止加热。炉内过压力时，安全泄压阀自动泄压，确保系统运行安全。

1200度200管径管式炉(标准/双温区/三温区)
窗体底端
设备名称 200管径管式炉（开启式）
型 号 TF1200-200 TF1200-200II TF1200-200III
基本参数 电源电压 AC 220V,50/60Hz AC 220V,50/60Hz AC 380V,50/60Hz
外形尺寸（宽*深*高）
设备重量 115Kg 135Kg 160Kg
加热系统 加热功率 6Kw 8Kw 12Kw
加 热 区 440mm 600mm（300+300） 900mm（300+300+300）
恒 温 区 150mm（±3℃） 300mm（±3℃） 600mm（±3℃）
加热区数 单温区 双温区 三温区
限温度 1200℃ 1200℃ 1200℃
使用温度 ＜1100℃（大气或惰性气氛下），≤900℃（高真空条件下）
升温速率 ≤30℃/min（上限）
300℃以内：≤3-8℃/min，300℃以上：≤8-12℃/min（建议）
降温速率 700℃以上≤10℃/min
测温传感器 N型
电 热 丝 HRE合金丝
表面负荷高、电阻率高、抗氧化性能好、经久耐用
炉 膛 中日合资 1500型氧化铝多晶纤维一体成型
收缩率小，导热系数低，保温效果好，耐用节能
管式电炉产品描述
1.1本款管式炉以硅碳棒、硅钼棒或者电阻丝为加热元件，温度一般在1200度以上采用刚玉管。（注：1200度以下也可使用）
1.2采用双层壳体结构和30段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，
1.3炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。
1.4采用技术，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
1.5具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
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