登封市高温真空管式炉

管式炉主要运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负材料，新能源，磨具等行业，测定材料在一定气温条件下的设备。炉型结构简单，操作容易，便于控制，能连续生产。
管式炉均系采用先进技术研制开发的高节能的新型电炉，有、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
炉膛规格 炉膛尺寸 使用温度（℃） 功率（KW）
AFD-2-12 Φ40*1000 1100 2
AFD -4-12 Φ60*1000 1100 4
AFD -6-12 Φ80*1000 1100 6
AFD -4-14 Φ40*1000 1350 4
AFD -6-14 Φ60*1000 1350 6
AFD -8-14 Φ80*1000 1350 8
AFD -6-16 Φ40*1000 1600 6
AFD -8-16 Φ60*1000 1600 8
AFD -10-16 Φ80*1000 1600 10

PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体，真空系统，质子流量供气系统，射频等离子源，石英反应腔室等部件组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

主要功能和特点：
一，实验室分体式管式炉外观
1.材料：采用优质冷轧板经过数控等设备机床精密加工而成，外表面经过高温嗍处理，外观美观大方，颜色协调。
二，实验室分体式管式炉电器元件
2.热电偶：采用国标贵金属热电偶丝作为原材料，测出温度准确，不偏离，根据选择电炉的温度而匹配热电偶，K分度（0-1200℃），S分度（0-1600℃），B分度（0-1820℃）
温控仪：采用能16段或32段PID控制温控仪，温控仪是双行LED显示表盘，主要用于控温，反应灵敏，可编程16或32段自动升温，保温，降温温度曲线，无人职守，PID控制，带有偏差，温断电报警等功能，使任何试验或实验的一致性和再现性成为可能。具有自动恒温及时间控制功能，并附设有二级温自动保护功能，控制可靠，使用安全
3电器：采用国标电器，移相触发，可控硅控制组装成一套与电炉匹配的智能电器，具有使用寿命长，耐冲压，安全，无噪音等，告别老式继电器电路。
4变压器：采用全隔离静音铜线变压器，噪音小。发热量少，安全系数高，（硅钼棒炉与钼丝炉配有）。
三，实验室分体式管式炉炉膛

1200度200管径管式炉(标准/双温区/三温区)
窗体底端
设备名称 200管径管式炉（开启式）
型 号 TF1200-200 TF1200-200II TF1200-200III
基本参数 电源电压 AC 220V,50/60Hz AC 220V,50/60Hz AC 380V,50/60Hz
外形尺寸（宽*深*高）
设备重量 115Kg 135Kg 160Kg
加热系统 加热功率 6Kw 8Kw 12Kw
加 热 区 440mm 600mm（300+300） 900mm（300+300+300）
恒 温 区 150mm（±3℃） 300mm（±3℃） 600mm（±3℃）
加热区数 单温区 双温区 三温区
限温度 1200℃ 1200℃ 1200℃
使用温度 ＜1100℃（大气或惰性气氛下），≤900℃（高真空条件下）
升温速率 ≤30℃/min（上限）
300℃以内：≤3-8℃/min，300℃以上：≤8-12℃/min（建议）
降温速率 700℃以上≤10℃/min
测温传感器 N型
电 热 丝 HRE合金丝
表面负荷高、电阻率高、抗氧化性能好、经久耐用
炉 膛 中日合资 1500型氧化铝多晶纤维一体成型
收缩率小，导热系数低，保温效果好，耐用节能
管式电炉特点
1、控制精度：±1℃ 炉温均匀度：±1℃(根据加热室大小而定) 。
2、微电脑控制，操作方便，可编程，自动升温、自动保温、自动降温。
3、炉管采用刚玉99陶瓷。
4、不锈钢金属法兰密封（双胶圈）
5、炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱，炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温 6、双回路保护（温、压、流、段偶、断电等）
7、进口耐火材料，保温性能好，耐温高
8、真空表真空度 0至负0.1Mpa
9、电炉可通多种气体（氧气、氮气、氩气、氢气等）
10、温度类别：1000℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 四种
11、本产品采用可靠的集成化电路，工作环境好，抗干扰
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