大同气氛管式炉 保温效果好

管式炉，旋转管式炉是河南奥菲达仪器新研发的一种新型电炉，主要运用于冶金，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的设备。
如果您需要保持物料的单颗粒结构（如在干燥或煅烧物料时），旋转管式炉是您的选择。持续不断的管旋转运动和保护气的应用将为您带来的处理结果。
本系列均系本公司采用国际技术，自行研制开发的高性能高节能的新型电炉，主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
控温仪表  厦门宇电 AI系列仪表，模糊PID控制和自整定调节功能
30段可编程控制，控温精度±1℃
真空系统  极限真空度  若选配我司高真空系统，可达1.33*10-4Pa（空炉冷态）
炉管及尺寸  石英管，200*1000mm  石英管，200*1200mm 石英管，200*1500mm
高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数较小，能承受骤冷骤热
隔热管堵  2只，氧化铝材质
真空法兰  Φ200，一套；硅胶密封圈，内径180*5.7mm，四只
真空压力表  -0.1至0.15MPa
安 全防护  **温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护
当需要开启炉体观察物料或加速降温时，为保证使用人员的安 全，会自动切断电源
升级服务  控温仪表升级为欧陆仪表，控温精度可提升至±0.1℃
随机资料  使用说明书1份、保修证书1份
免费服务  免费送货(不含卸货)；免费技术支持
质 保 期  12个月，易损件除外（如炉管、密封圈等）

炉体结构：
1.采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃（参考值，详情请点击）
2.设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）（点击图片查看详细资料）
3.高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）
4.该炉可作为退火或扩散炉，大可用于8”晶片放在对应石英舟中
加热元件：掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以较大程度延长使用寿命）

PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体，真空系统，质子流量供气系统，射频等离子源，石英反应腔室等部件组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

河南奥菲达仪器系列开启式真空气氛管式炉，适用于各类大专院校实验室、工矿企业化验室，供化学分析、煤质分析、物理测定以及金属、陶瓷的烧结和溶解、小型工件等的加热、焙烧、烘干、及气氛保护下热处理用。
管式电炉产品描述
1.1本款管式炉以硅碳棒、硅钼棒或者电阻丝为加热元件，温度一般在1200度以上采用刚玉管。（注：1200度以下也可使用）
1.2采用双层壳体结构和30段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，
1.3炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。
1.4采用技术，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
1.5具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
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