开封高温真空管式炉 温度范围大

产品用途：主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、CVD实验、物质成分测量等场合。
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体，真空系统，质子流量供气系统，射频等离子源，石英反应腔室等部件组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

1700℃管式炉Φ60/80
窗体底端
设备名称  真空管式炉（封闭式）
型 号  AFD1700-60  AFD1700-60II  AFD1700-80  AFD1700-80II
基本参数  电源电压  AC 220V,50/60Hz   AC 220V,50/60Hz  AC 220V,50/60Hz
外形尺寸
设备重量  175Kg   175Kg
加热系统  加热功率  4Kw   4Kw  8Kw
加 热 区  300mm   300mm  300+300mm
恒 温 区  120mm（±1.5℃）   120mm（±1.5℃）
加热区数  单温区   单温区  双温区
极限温度  1700℃
使用温度  ≤1600℃
升温速率  ≤20℃/min（上限）
1000℃以内：≤10℃/min，1000℃以上：≤5℃/min（建议）
降温速率  1000℃以上≤10℃/min
测温传感器  B型热电偶 0.5mm国标
加热元件  1800型硅钼棒
炉 膛  1800型氧化铝板
收缩率小，导热系数低，保温效果好，耐用节能
控温仪表  厦门宇电 AI系列仪表，模糊PID控制和自整定调节功能
30段可编程控制，控温精度±1℃
真空系统  极限真空度  若选配我司高真空系统，可达1.33*10-4Pa（空炉冷态）
炉管及尺寸  刚玉管，60*1000mm   刚玉管，80*1000mm  刚玉管，80*1200mm
密度大，热震性好，耐酸碱，耐冲刷
隔热管堵  2只，氧化铝材质
标准法兰  Φ60，一套  Φ80，一套
硅胶密封圈  内径58*5.3mm，4只  外径80*5.7mm，4只
真空压力表  -0.1至0.15MPa
安 全防护  **温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护
升级服务  控温仪表升级为欧陆仪表，控温精度可提升至±0.1℃
随机资料  使用说明书1份、保修证书1份
免费服务  免费送货(不含卸货)；免费技术支持
质 保 期  12个月，易损件除外（如炉管、密封圈等）

1100℃大口径双温区管式炉技术参数
基本参数：
热偶：K型热偶
建议升温速率：≤10℃/min
温度：1000℃ （1100℃＜1h）
电源：AC220，50Hz   大8KW
加热区：
规格1：加热区长度：600mm    双温区：300mm+300mm
规格2：加热区长度：900mm    双温区：450mm+450mm

管式加热炉体
石英反应腔室  根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等规格可选。
真空系统  根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1（极限真空0.1Pa），GZK10-3（极限真空0.001Pa），以及进口高真空机组（极限真空0.0001Pa）供选择。
质子流量供气系统  根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z，三路GQ-2Z，四路GQ-2Z，五路GQ-2Z或更多路供选择。
射频等离子源  根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300（300W），DLZ500（500W）或更大功率的射频电源供选择。
常见PECVD系统组合  1. 1200度60滑轨式微型管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，300W射频电源
AFD1200-60S-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ300
2. 1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
AFD1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
3. 1200度60双温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
AFD1200-60II-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
4. 1200度60三温区滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
AFD1200-60III-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
5. 1200度60微型预热炉，1200度60滑轨式管式炉，低真空系统，四路质子流量供气系统，500W射频电源
AFD1200-60S，MXG1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500
管式电炉特点
1、控制精度：±1℃ 炉温均匀度：±1℃(根据加热室大小而定) 。
2、微电脑控制，操作方便，可编程，自动升温、自动保温、自动降温。
3、炉管采用刚玉99陶瓷。
4、不锈钢金属法兰密封（双胶圈）
5、炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱，炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温 6、双回路保护（**温、**压、**流、段偶、断电等）
7、进口耐火材料，保温性能好，耐温高
8、真空表真空度 0至负0.1Mpa
9、电炉可通多种气体（氧气、氮气、氩气、氢气等）
10、温度类别：1000℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 四种
11、本产品采用可靠的集成化电路，工作环境好，抗干扰
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